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Triton 40：桌面型多功能等離子設備
文章來源：handler 時間：2018-05-02 04-39-00
應用領域
表面清潔與活化
? 材料表面有機污染物的去處
? 去處納米級金屬氧化層
? 增強表面膠體流動性，消除涂層、塑封料的分層
? 提升表面能，實現難粘材料的有效結合
? 表面粗化與微蝕：消除表面應力，使材料更易結合。
表面粗化及微刻蝕
? 納米級表面粗化，應力釋放。
? 光刻膠去除
? 對多種材料的選擇性刻蝕
設備特點
? 設計緊湊的桌面型等離子工藝平臺，易于與廠務端連接
? 可靠的腔體結構設計，確保工藝腔體具備一流的氣密性與耐用性
? 優秀的進氣、排氣設計，保證工藝過程的均勻性
? 支持多種電極形式與最多4路工藝氣體，適用于處理各種產品并適應多種工藝要求
? 直觀的圖形控制界面，通過觸屏可實時觀察、控制工藝過程
? 13.56MHz射頻電源與自動匹配系統，具有優異的穩定性和可重復性
Triton40 標準技術規格
| 設備尺寸 | 寬*深*高 | 635W x 860D x 690H mm |
| 腔體 | 尺寸 | 340W x 456D x 280H mm |
| 容積 | 43L | |
| 最大電極數量 | 8 | |
| 電極間距 | 57mm | |
| 電極 | 功率電極尺寸 | 226W x 320D mm |
| 接地電極尺寸 | 1300W x 320D mm | |
| 射頻系統 | 射頻功率及頻率 | 300W/13.56MHz |
| 氣體控制 | 氣路配置 | 標配兩路 / 最多可擴充至4路氣體 |
| 真空泵 | 標準配置 | 25m3/h 油泵 |
| 廠務要求 | 供電要求 | 220V, 10A, 50Hz, Single-Phase, 13AWG, 3-Wire |
| 工藝氣體接口及尺寸 | 1/4英寸卡套接口 | |
| 工藝氣體種類及純度 | CF4 = 99.97%; O2 = 99.996%; N2 = 99.99%; Ar = 99.999%; 其余氣體請咨詢JETPLASMA | |
| 工藝氣體壓力 | 15~20 psig | |
| 吹掃氣體接口及尺寸 | 1/4英寸卡套接口 | |
| 吹掃氣體種類及純度 | N2=99.99% | |
| 吹掃氣體壓力 | 15-60 psig | |
| 氣動用接口及尺寸 | 1/4英寸卡套接口 | |
| 氣動用氣體及壓力 | CDA, 60~90 psig | |
| 排氣口接口及尺寸 | KF25 | |
| 環境溫度 | 5~40℃ | |
| 相對濕度 | 40~60% |
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