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全自動等離子處理系統
文章來源:handler 時間:2018-05-02 04-39-27
應用領域

? 金屬鍵合前處理:通過等離子處理去除焊盤表面的金屬氧化層,提升后續鍵合工藝的良率與結合力。

? 塑封前處理 : 經由等離子活化樣品表面,提升塑封料的結合力,減少分層、空洞等不良的產生。

? 底部填充前處理: 等離子活化提升膠體在表面的流動性,消除空洞與氣泡,增強填充效果。

? 光刻膠去除: 去除表面殘膠,形成清潔、活化的表面。

? 表面粗化與微蝕:消除表面應力,使材料更易結合。

運作特點

? 工藝腔體處理效率高,均勻性好。

? 產能高,故障率低。

? 結構緊湊,占地面積小。

? 穩定耐用,易于維護。

? PLC與工程機提供穩定的過程控制,操作簡單。


Hestia  標準技術規格
設備尺寸寬*深*高1550W x 1230D x 1760H mm -- 2050H mm 帶信號燈高度
腔體容積5L
電極電極尺寸334W x 334D mm
射頻系統射頻功率及頻率500W/13.56MHz
氣體控制氣路配置標配兩路 / 最多可擴充至4路氣體
真空泵標準配置28m3/h干泵
干泵吹掃氮氣流量5-25L/min
廠務要求供電要求220V, 25A, 50Hz, Single-Phase, 9AWG ,5-Wire
工藝氣體接口及尺寸1/4英寸卡套接口
工藝氣體種類及純度

CF4 = 99.97%; O2 = 99.996%;  N2 = 99.99%;

Ar = 99.999%;  其余氣體請咨詢JETPLASMA


工藝氣體壓力15~20 psig
吹掃氣體接口及尺寸1/4英寸卡套接口
吹掃氣體種類及純度N2=99.99%
吹掃氣體壓力10-60 psig
氣動用接口及尺寸1/4英寸卡套接口
氣動用氣體及壓力CDA, 60~90 psig
排氣口接口及尺寸KF25
環境溫度5~40℃
相對濕度40~60%
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