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全自動等離子處理系統
文章來源:handler 時間:2018-05-02 04-39-27

應用領域
? 金屬鍵合前處理:通過等離子處理去除焊盤表面的金屬氧化層,提升后續鍵合工藝的良率與結合力。
? 塑封前處理 : 經由等離子活化樣品表面,提升塑封料的結合力,減少分層、空洞等不良的產生。
? 底部填充前處理: 等離子活化提升膠體在表面的流動性,消除空洞與氣泡,增強填充效果。
? 光刻膠去除: 去除表面殘膠,形成清潔、活化的表面。
? 表面粗化與微蝕:消除表面應力,使材料更易結合。
運作特點
? 工藝腔體處理效率高,均勻性好。
? 產能高,故障率低。
? 結構緊湊,占地面積小。
? 穩定耐用,易于維護。
? PLC與工程機提供穩定的過程控制,操作簡單。
Hestia 標準技術規格
設備尺寸 | 寬*深*高 | 1550W x 1230D x 1760H mm -- 2050H mm 帶信號燈高度 | |
腔體 | 容積 | 5L | |
電極 | 電極尺寸 | 334W x 334D mm | |
射頻系統 | 射頻功率及頻率 | 500W/13.56MHz | |
氣體控制 | 氣路配置 | 標配兩路 / 最多可擴充至4路氣體 | |
真空泵 | 標準配置 | 28m3/h干泵 | |
干泵吹掃氮氣流量 | 5-25L/min | ||
廠務要求 | 供電要求 | 220V, 25A, 50Hz, Single-Phase, 9AWG ,5-Wire | |
工藝氣體接口及尺寸 | 1/4英寸卡套接口 | ||
工藝氣體種類及純度 | CF4 = 99.97%; O2 = 99.996%; N2 = 99.99%; Ar = 99.999%; 其余氣體請咨詢JETPLASMA | ||
工藝氣體壓力 | 15~20 psig | ||
吹掃氣體接口及尺寸 | 1/4英寸卡套接口 | ||
吹掃氣體種類及純度 | N2=99.99% | ||
吹掃氣體壓力 | 10-60 psig | ||
氣動用接口及尺寸 | 1/4英寸卡套接口 | ||
氣動用氣體及壓力 | CDA, 60~90 psig | ||
排氣口接口及尺寸 | KF25 | ||
環境溫度 | 5~40℃ | ||
相對濕度 | 40~60% |
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